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“老周,你真是及时雨!”杨国斌激动地拍着周文兵的肩膀。
“少废话!赶紧干活!”周文兵眼睛一瞪,抄起一把大号扳手,“卫国!你带两个人,把那几瓶‘仙水’给我看好了,配蚀刻液的时候,一滴都不能浪费!
老杨,咱俩去对付那台祖宗光刻机,它的真空密封估计全烂了,得用老孙头这些‘古董’件给它续命!”
仓库里瞬间又充满了金属碰撞、敲打、锯割和工人的吆喝声。秦浩走到那台庞大的ЛК-50光刻机旁,它的外壳被拆开。
露出里面复杂而布满灰尘油污的机械结构和光学部件。他拿起一个锈迹斑斑、布满刻度的手轮——这是控制掩模版精确定位的微调机构,精度要求极高,此刻却滞涩得几乎转不动。
“秦工,这玩意儿……能行吗?”李卫国凑过来,看着那粗糙的机械结构,一脸担忧,“沈老板那边用的可是带激光干涉定位的自动步进式光刻机……”
“行不行,做了才知道。”秦浩的声音很平静,他从工具架上拿起一小罐珍贵的煤油和一把细毛刷,蹲下身,开始一点点浸润、刷洗那些锈死的齿轮和导轨。“精度不够,我们靠经验补。
一次曝光对准不了,就十次、一百次地手动微调,总能找到那个点。记住,卫国,我们现在不是在跟深圳的自动化产线比速度,我们是在跟命赛跑。
比的是一颗‘芯’能不能从这堆废铁里长出来!”
他抬起头,目光穿过弥漫着油污和湿气的昏暗空间,落在仓库角落里临时搭建的一个用塑料布勉强围起来的“净化工作台”——那不过是一张旧实验桌,顶上吊着一个从厂医院报废设备里拆下来的高效空气过滤器,呜呜地响着。
周围用透明塑料布围了一圈。王晓军穿着不太合身的旧洁净服(也是周文兵从防疫站淘来的),正戴着放大镜,用自制的真空吸笔,屏息凝神地将一片薄如蝉翼的硅晶圆片装到光刻机的承片台上。
他动作笨拙而缓慢,额头布满细密的汗珠,每一次呼吸都小心翼翼,生怕吹动了那脆弱的关键。
秦浩的眼神复杂地扫过王晓军。这个曾经的“沈逸派”,在杨国斌押上一切、周文兵带回“弹药”后,也咬着牙留了下来。但秦浩能感觉到他身上的摇摆不定,像一根绷紧的弦。技术上的巨大落差和难以想象的艰苦,正在消磨着每个人的意志。
***
夜色如墨,暴雨不知何时停了。仓库里只剩下几盏悬挂的白炽灯发出昏黄的光,驱散不散角落里的浓重阴影。空气里化学试剂的味道更加刺鼻。疲惫像沉重的铅块,压在每个人的肩头。
临时净化台前,气氛压抑得令人窒息。
“又失败了!”李卫国颓然摘下头上的放大镜,声音带着哭腔。他面前的工作台上,散落着十几片报废的硅片。有的上面光刻胶涂布不均,像丑陋的疤痕;有的在曝光后显影模糊,线条粘连。
最惨的是经过蚀刻后的几片,本该清晰的电路图案要么残缺不全,要么被过度蚀刻得一片狼藉。自封袋里,那枚最初闪耀着微光的“东星一号”原型片,孤零零地躺在一边,像是对他们无言的嘲讽。
王晓军一屁股坐在冰冷的铁凳子双手插进油腻的头发里,肩膀垮了下去。
“第七次了……秦工,我们用的胶是过期的,稀释剂是凑合的,光刻机精度差得离谱,硅片纯度也……根本达不到要求!良品率?我看连百分之一都悬!
这根本就是瞎子点灯白费蜡!咱们拿什么跟沈逸斗?拿什么跟日城人斗?”他抬起头,眼睛布满血丝,绝望地盯着秦浩,“耗下去,耗到遣散费都吃光了,大家一起喝西北风吗?”
仓库里一片死寂。只有老旧净化器低沉的嗡鸣和远处水管滴水的嗒嗒声。几个还在坚持调试设备的老师傅也停下了手,沉默地望过来,浑浊的眼睛里充满了同样的疲惫和迷茫。连周文兵也靠着冰冷的扩散炉外壳,抱着胳膊,古铜色的脸在昏黄灯光下显得格外晦暗,紧抿着嘴唇一言不发。杨国斌蹲在墙角,手里捏着一块报废的硅片,指关节捏得发白。
巨大的挫败感如同冰冷的潮水,瞬间淹没了这个在废铁堆里艰难点燃的星火。资金、设备、技术的鸿沟,赤裸裸地横亘在眼前,似乎无法逾越。
秦浩站在工作台前,背对着众人,脊梁挺得笔直,但只有他自己知道,那挺直的脊背下,每一块肌肉都因为疲惫和压力而绷紧、酸痛。
他拿起一片蚀刻失败的硅片,对着灯光仔细看着。上面本该是清晰电路的地方,布满了细小的针孔和锯齿状的边缘——这是光刻胶与硅片表面附着力不足,在蚀刻过程中发生剥离(胶脱落)造成的典型缺陷。
“是胶的问题。”秦浩的声音在寂静中响起,异常沙哑,却带着一种不容置疑的冷静。他没有理会王晓军的抱怨和绝望,仿佛那些负面情绪被一层无形的屏障隔开了。
“过期光刻胶里的感光剂活性下降,胶膜本身的粘附力和抗蚀刻性也严重衰减。我们之前的烘烤时间和温度曲线,是针对新胶优化的,对这批‘老弱病残’不适用。”
他转过身,目光扫过一张张疲惫而绝望的脸,最后停留在周文兵身上。
“周师傅,我记得您以前提过,六十年代末,咱们厂搞单晶硅提纯攻关那会儿,也遇到过材料不行、设备拉胯的情况?”
周文兵愣了一下,浑浊的眼睛里闪过一丝追忆的光,下意识地点点头:“嗯,那会儿更苦,啥都没有,纯靠土办法试……”
“当时怎么解决的胶膜附着力问题?”秦浩追问,眼神锐利。
周文兵皱起眉头,努力回忆着,布满老茧的手指无意识地搓动着:“好像……好像是老班长想了个馊主意?在涂胶前,用……用特别配的‘酸水’先把硅片狠狠擦一遍?那酸水味儿冲得人眼泪直流,但擦完的片子,胶粘得贼牢!”