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第565章 监视

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     设备状态监测系统没有任何报警!
    为了一个几乎可以忽略的波动和主观感觉,就要推迟关键测试,打乱整个调试计划,这个责任和风险,我承担不起!我必须按照既定流程推进!”
    她态度坚决,转身就要在控制屏上输入通入硅烷气体的指令。
    “林工!”秦浩的声音如同惊雷,在众人身后响起。
    他不知何时已来到现场,目光锐利地扫过争执的双方,最后停留在RGA屏幕上那个微小却顽固的水汽峰和周文兵焦虑的脸上。瞬间的权衡,电光石火!
    他看到了林薇的严谨和进度压力,更看到了周文兵眼中那份源于无数次设备搏杀淬炼出的、近乎本能的危机预警!
    “暂停通入硅烷!”秦浩的命令斩钉截铁,没有丝毫犹豫,“林工,立刻执行延长保压测试!重点区域:所有高应力金属密封接口、电极馈入端口!
    测试时间延长至手册要求的三倍!王工,调取设备所有压力、温度、真空泵电流波形历史记录,进行毫秒级波动分析!周师傅,带人用听诊器和红外热像仪,给我一寸寸地‘摸’!
    找出那个可能存在的‘沙眼’!立刻执行!”
    他的目光如同磐石,压下了林薇眼中瞬间涌起的委屈和不甘,“责任和风险,我来承担!但设备安全和工艺稳定,不容有失!”
    命令如山。整个PECVD区域瞬间高速运转起来。林薇咬着嘴唇,压下情绪,迅速调整设备设置,启动了严苛的延长保压测试。
    王晓军扑到数据服务器前,调出海量的波形数据,眼睛如同扫描仪般快速搜寻着任何异常的毛刺或趋势。
    周文兵则像一位经验丰富的老猎人,拿着一支工业听诊器,将探头小心翼翼地贴在冰冷的设备外壳上。
    沿着复杂的管线和法兰接口,一寸寸地移动,布满皱纹的脸颊紧贴着金属表面,全神贯注地捕捉着那细微声音的源头。
    他的徒弟则举着红外热像仪,扫描着可能的温度异常点。
    时间在令人窒息的紧张中一分一秒流逝。
    延长保压测试的数据曲线平稳得如同一条直线。
    林薇看着屏幕,紧绷的嘴角微微松动。然而,就在测试时间即将结束的前几分钟!
    “在这里!”周文兵猛地直起身,布满老茧的手指如同标枪般,精准地指向PECVD主腔体顶部一个极其隐蔽的、连接射频匹配器的高压电极引入法兰接口!
    红外热像仪的屏幕上,那个位置显示出一个极其微弱的、比周围高出不到0.5℃的小红点!“声音最‘涩’!就是这儿!有‘沙眼’!”
    几乎同时,王晓军也发出一声低呼:“秦总!林工!快看真空泵电流波形!
    在保压测试第57分钟和112分钟时,有两次持续时间不足10毫秒的、幅度小于1%的微小电流波动!
    位置…和周师傅指的地方完全吻合!是极微小的、间歇性泄漏!在高压差下才会偶尔‘呲’一下!”
    真相大白!那个被完美保压测试数据掩盖的、如同幽灵般间歇出现的、极其微小的泄漏点,被“土洋结合”的精密“围猎”揪了出来!
    林薇的脸色瞬间变得苍白,随即又涌上一股后怕的潮红。
    她看着屏幕上那两次几乎被忽略的微小电流波动,再看向周文兵指着的那个隐蔽接口,后背瞬间被冷汗浸透。
    如果没有被叫停…通入硅烷…那难以清洗的粉末状沉积物…设备大修…工期延误…后果不堪设想!
    “立刻停机!泄压!更换该处密封圈!”秦浩的声音沉稳有力,带着劫后余生的决断。
    “林工,组织抢修!王工,周师傅,将这次排查的过程、发现的异常特征、使用的监测手段。
    尤其是这种极其隐蔽的间歇性微泄漏的‘指纹’信号(包括RGA水汽峰特征、真空泵电流毫秒级毛刺特征、特定位置异响特征),详细记录。
    补充进我们的设备调试案例库!这是血的教训,更是宝贵的经验!”
    一场迫在眉睫的重大设备事故被扼杀在摇篮。
    洁净室里,众人看着那个被拆下的、肉眼几乎看不出缺陷但内部已有微小损伤的进口密封圈,再看向周文兵和王晓军,眼神彻底变了。
    那份曾经横亘在“标准”与“土法”之间的无形壁垒,在这一刻,被一种油然而生的、混合着敬佩与后怕的情绪悄然溶解。真正的融合,往往始于对彼此价值的深刻认知和劫难边缘的并肩作战。
    然而,就在密封圈更换完毕,腔体重新抽真空达到工艺要求,林薇深吸一口气,准备再次启动硅烷通入程序。
    秦浩回了公司,
    临走前,把她单独留了下来。
    “林工,今天是我错怪你了。”秦浩很抱歉。虽说是因为自己的疏忽,但林薇刚刚的反应实在太过敏捷,让他意识到了某些问题。
    “秦总客气了,这是职责范围内的事情。”林薇笑笑,并未放在心上。
    秦浩点点头,从办公桌上拿出一个档案袋递给她:“这是今年的研究成果。我还需要一个助手,希望你能加入进去,帮我做点事情。”
    这是林薇早就预料的事情。秦浩在技术上拥有绝对优势,自己只是一名普通的技术员,除非是专家组里的人,否则不可能胜任这么重要的工作。
    “谢谢秦总。我明天就去申请,尽量多呆几天。”
    “好,我等你消息。这个东西你先收着,有什么不懂的再问我。”
    “谢谢秦总。”
    秦浩离开了,林薇站在原地,看着手里的档案袋,轻叹了一口气。
    她知道这件事情对秦浩的冲击肯定很大。但没办法,这就是现代科学的残酷——每一项工程都有它的危险‘性’。她只希望,这次的事情,给这位骄傲的男人提个醒,别再那样盲目乐观和轻敌。
    第二天,秦浩早早就到了研发中心。她在休息室里坐了很久,直到午饭时间,才鼓起勇气敲门进去。
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