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清洗槽被临时架设起来,浓烈的酸雾开始弥漫,刺鼻的气味让人呼吸困难。
王晓军带着几个人,穿着简陋到极致的防护(雨衣、橡胶手套、游泳眼镜),如同敢死队般守在槽边,眼睛死死盯着温度计和计时器,每一次将硅片浸入翻滚的酸液,都像在进行一场生与死的仪式。
秦浩同样套上了一件不合身的旧雨衣,站在最靠近酸槽的位置,亲自操作着最危险的氢氟酸浸泡步骤。
刺鼻的气味灼烧着他的鼻腔和喉咙,酸雾熏得他眼泪直流,但他眼神专注得可怕,每一次提起、浸入,都稳如磐石。
他知道,这不仅仅是清洗硅片,这是在清洗东海厂的未来!是在用最卑微、最危险的方式,向沈逸的资本绞索发起最惨烈的反击!
时间,在浓烈的酸雾和滴答的计时器声中,一分一秒地流逝。
汗水、泪水混合着酸雾,浸透了简陋的防护。有人被酸液溅到,皮肤瞬间灼红,咬着牙简单冲洗后又回到岗位。
每一批硅片从酸槽中取出,都带着所有人的目光,被迅速送到王晓军临时搭建的简易检测台前,用借来的粗糙电阻率测试仪进行快速筛查。
失败!杂质依然超标!
失败!表面出现蚀坑!
再失败!……
希望与绝望在浓烈的酸雾中反复拉锯,考验着每个人的神经极限。
三天后。深夜。
王晓军布满血丝的眼睛死死盯着最新一批硅片在电阻率测试仪上跳动的读数。他的手指因为长时间戴橡胶手套而发白、肿胀。
旁边的记录本上,密密麻麻记录着数百次失败的测试数据。
这一次,读数跳动得异常缓慢……最终,在一个令人窒息的停顿后,稳稳地停在了某个数值区间!
王晓军猛地抬起头,布满血丝的眼睛瞪得溜圆,嘴巴张着,却发不出任何声音!他不敢相信地揉了揉眼睛,再次看向仪表盘!读数依旧!
“秦……秦工……”他的声音干涩、嘶哑,带着难以置信的颤抖,“这……这一批……电阻率……接近……接近要求了!”
轰!
如同在滚油里滴入冷水,整个清洗区域瞬间炸开了锅。
疲惫不堪的工人们猛地围拢过来,看着仪表盘上那个近乎奇迹的读数,看着王晓军手中那片在灯光下反射着奇异光泽、似乎真的被“洗”干净了的硅片!
“成了?真的成了?!”
“老天爷!真洗出来了?!”
狂喜如同决堤的洪水,瞬间冲垮了三天三夜积累的疲惫和绝望!连空气中刺鼻的酸味,此刻似乎都带上了一丝成功的辛甜!
秦浩推开人群,冲到检测台前,一把抓过那片硅片,对着灯光仔细看着。
硅片表面光洁,没有明显的蚀坑和杂质斑点。
他拿起简易的显微镜,观察着微观结构……杂质密度,确实降到了一个可以勉强接受的水平。
“快!送扩散!”秦浩的声音因为激动而变调,嘶哑地吼道,“老周!扩散炉!按新工艺!上片!”
清洗成功的硅片被如同珍宝般传递出去。周文兵像捧炸药包一样,小心翼翼地将它们装进新改造的扩散炉石英舟。炉门关闭。温度曲线启动。
所有人的心都提到了嗓子眼。清洗只是第一步,扩散掺杂才是真正的考验。
低纯度硅片基底的不均匀性,对掺杂工艺是致命的挑战!
时间一分一秒过去。扩散炉温控仪表的曲线在艰难地爬升、稳定。
周文兵和负责的老师傅眼睛一眨不眨地盯着屏幕,额头上的汗珠滚滚而下。空气中弥漫着紧张得几乎要凝固的气氛。
终于,漫长的扩散和退火程序结束。炉门开启。石英舟被小心翼翼地取出。硅片被传送到光刻区。
王晓军深吸一口气,强压住手的颤抖,将第一片承载着所有人希望的硅片装上了那台被伺服电机强行驱动的、依旧发出不祥呻吟的ЛК-50光刻机承片台。
光刻胶旋涂、软烘、手动对准(结合伺服微调)、曝光、硬烘、显影……
每一步都如同在刀尖上跳舞。每一个环节都可能因为硅片基底的微小缺陷或设备的突然罢工而前功尽弃!
当第一片完成光刻图形转移的硅片被送到蚀刻槽前时,整个仓库里的人都屏住了呼吸。
王晓军亲自操作,将硅片缓缓浸入蚀刻液。时间一秒一秒地流逝……
硅片被取出、清洗、去胶。
王晓军颤抖着双手,将它放到了那台借来的、分辨率不高的显微镜下。
他弯下腰,将眼睛凑近目镜。
一秒。
两秒。
三秒……
时间仿佛凝固了。
突然!
王晓军的身体猛地一僵!随即剧烈地颤抖起来!他猛地直起身,布满血丝的眼睛里爆发出难以置信的、狂喜的光芒。
他张着嘴,想说什么,却因为极度的激动而只能发出“嗬嗬”的嘶哑声!他一把抓起那片硅片,高高举起,对着仓库顶棚那盏昏黄的灯!
灯光下,硅片表面,虽然线条边缘因为基底缺陷而略显粗糙,但一个清晰的、由无数微小存储单元构成的阵列图案,赫然在目。
阵列的核心,那个熟悉的、由金属导线蚀刻而成的五角星,在不算完美的基底上,依旧顽强地闪烁着金属的光泽。
虽然不完美,虽然还有瑕疵,但它的核心功能——那代表着64K存储容量的阵列,成了!
“成了!阵列成了!星……星还在!”王晓军终于吼了出来,声音嘶哑破碎,却如同天籁!
“哗——!!!”
压抑了三天三夜、经历了无数次失败和绝望的仓库,瞬间被惊天动地的狂喜彻底点燃!欢呼声、哭喊声、金属器皿的敲击声……如同压抑已久的火山,轰然爆发。
工人们激动地拥抱在一起,又哭又笑!周文兵老泪纵横,狠狠拍打着冰冷的扩散炉外壳。
李卫国跳上工作台,挥舞着手臂!
秦浩站在原地,看着那片在王晓军手中、在灯光下倔强闪烁的“星”。