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他立刻召集了核心骨干。会议室的灯亮到深夜,那厚厚一沓资料被摊开在长桌上,油墨味混着纸张的气息弥漫在空气里。
周文兵粗糙的手指小心翼翼地点着那些手绘的设备简图和潦草标注的数据,浑浊的眼睛亮得惊人。
“老李,快看这个!我就说嘛!上回咱厂那批国产硅片,光洁度看着是那么回事,可一进高温炉子就‘放炮’,准是里头包裹的微气泡受热炸了!这上头记的法子,提前低温慢烤它一道,把气先逼出来,再进高温——是这个理儿!”
王晓军则一头扎进了那份偏差数据库,金丝眼镜几乎贴到了纸上。
他越看越是心惊,又带着一种拨云见日的激动。以往那些如同跗骨之蛆、挥之不去的工艺波动点——某个扩散炉温区在特定升温速率下总是漂移0.5度,某种国产清洗液批次间pH值能差出0.3导致硅片表面状态差异巨大——竟都能在这数据库里找到对应的“指纹”和初步的量化描述!
他猛地抬起头,声音带着不易察觉的微颤:“秦总!周师傅!这份数据…太关键了!它把我们遇到的很多‘玄学’问题,初步量化了!
虽然还粗糙,但有了这个基准,我们做工艺适配就有了方向,不再是盲人摸象!”
秦浩看着眼前这迥然不同却同样被点燃的两人,心中激荡。
他用力一拍桌子,声音不高,却带着不容置疑的分量:“好!这就是我们的‘火种’!王工,你负责牵头,立刻组织人手,对照这份数据库和案例集,把我们东海厂自己摸索出来的那些‘土方子’、‘野路子’。
尤其是周师傅他们那些有效果的‘违规操作’,一条条梳理出来!结合我们的设备实测数据,进行初步的量化分析!我们要建立自己的‘东海工艺适配知识库’!
就从周师傅那个‘局部表面处理’和‘动态温控补偿’开始!”
一场静默而浩大的知识转化工程在东海厂内部悄然启动。技术部那间不大的办公室里彻夜灯火通明。
王晓军领着一批年轻技术员,对着电脑屏幕和摊开的手写笔记,将周文兵等老师傅口述的经验,与王院士团队提供的数据库条目、案例集方法,还有自己记录的示波器波形、参数分析仪曲线,进行艰难而细致的比对、验证、抽象和初步建模。
而车间里,周文兵则带着他的老伙计们,在“混血”线上,利用每一个生产间隙,按照技术部新提出的、融合了“洋数据”的“土法”指导,进行着更精细的验证实验。
裂痕依旧存在,但那束名为“东海经验”的光芒,正努力穿透阻碍,顽强地试图照亮前路。
……
时间在紧张与期待中飞逝。
东海厂区一角,那座象征着未来和希望的示范线厂房,终于拔地而起。
巨大的钢结构框架在阳光下闪烁着冷硬的金属光泽,高等级的净化车间如同水晶宫般初具雏形。
一批批贴着国际知名厂商标签的木箱被小心翼翼地运进厂房,拆封、开箱、安装。
崭新的进口设备,泛着冷冽的金属光泽,带着精密仪器特有的沉静感,被精密的吊装设备安置在规划好的位置上,如同等待检阅的士兵。
负责设备安装调试的,是一支由总部直接派遣、以海归精英为主的工程师团队。
领队的陈哲,三十出头,戴着无框眼镜,头发梳理得一丝不苟,言谈举止间带着一种受过严格系统训练的自信与优越感。
他拿着厚厚的原厂英文手册,指挥若定,每一个动作、每一个参数设置,都力求与手册上的标准流程严丝合缝。
“王工,扩散炉的恒温区校准,必须按照手册第7.3节流程,使用原厂校准晶圆和配套软件,分五个温度点进行,误差必须控制在±0.1℃以内。
任何替代方案都是不被允许的。”陈哲指着电脑屏幕上复杂的校准曲线图,语气平静却不容置疑地对一旁协助的王晓军说道。
王晓军看着屏幕上那完美的曲线,又想起周文兵在“混血线”上靠着老师傅的经验和国产电偶反复微调才达到的稳定,张了张嘴,最终还是把“或许可以结合设备实际状态微调”的话咽了回去,只是点了点头。
“明白,陈工,按手册执行。”他瞥了一眼站在不远处观察的周文兵。
老周抱着胳膊,眉头拧成了一个疙瘩,看着那些年轻的海归工程师用戴着白手套的手,像对待艺术品一样调整着设备,嘴里忍不住低声咕哝了一句:“光好看顶个鸟用,东西是做出来的,不是供起来的…”
设备安装调试紧锣密鼓地进行着。终于,到了首次工艺验证的关键时刻——硅片清洗与预氧化。
这是芯片制造最前端、也最基础,却对后续工艺影响至深的环节。
洁净度极高的超纯水在崭新的进口清洗槽内循环,晶圆传送机械臂平稳而精准地运行。按照手册,流程完美无缺。
然而,当第一批完成清洗和预氧化的硅片被送入检测室,气氛骤然凝固。
高倍率电子显微镜下,硅片表面清晰地显示出大片、不规则的浅色雾状区域!这是典型的表面状态异常!
“这…怎么可能?”
陈哲脸色瞬间变了,他一把抢过检测报告,反复核对参数,“纯水电阻率18.2兆欧,清洗温度、时间、药液浓度…所有参数完全符合手册!流程没有任何差错!”
问题接踵而至。第二批、第三批硅片投入,同样的雾状污染如同幽灵般反复出现,批次性不良!示范线刚刚启动,就遭遇了致命的下马威。
洁净室内,空气仿佛凝固了,只有设备低沉的运行声和海归工程师们压抑的喘息。
陈哲团队陷入了前所未有的慌乱,他们一遍遍翻查手册,一遍遍重复着“完美”的流程,却始终无法驱散那层顽固的“雾”。