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第563章 重塑

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     目标明确,分工清晰。陈哲看着自己肩负的理论建模任务,又看看秦浩眼中毫无保留的信任和支持,那份因认知冲突带来的僵硬终于松动了一丝,他缓缓点了点头:“明白,秦总。
    我会带领团队,从物理和化学层面彻底剖析这个‘非标’步骤。”
    周文兵则咧开嘴,用力拍了一下王晓军的肩膀:“老王,走!咱去给那些国产娃好好‘把把脉’,弄个明白透亮的‘方子’出来!”
    壁垒并未完全消失,但共同的目标和清晰的路径,像一道桥梁,开始在鸿沟之上搭建。
    示范线的洁净室里,弥漫的不再仅仅是硝烟,更添了几分攻坚克难的锐气。
    ……
    时间在无数次的实验、争吵、验证、修改中流逝。攻关组的灯火成了示范线工地上最晚熄灭的星辰。
    陈哲团队的办公室里,白板上写满了复杂的化学方程式和有限元分析模型图。
    他们利用进口设备的强大在线监测能力,结合理论计算,深入模拟了不同厚度、不同致密度的“预钝化层”在后续高温氧化环境下的演变过程。
    从最初的质疑,到发现其“缓冲”和“改善初始氧化界面”的微妙作用,再到最终建立起一套描述其影响边界的量化模型,陈哲和他的团队经历了一次艰难而深刻的认知重塑。
    当模型预测与王晓军提供的实测数据惊人地吻合时,一种混合着释然和敬佩的情绪在海归工程师们心中蔓延。
    与此同时,在实验线区域,周文兵和王晓军则如同老农深耕土地。
    他们面前堆满了来自不同国产供应商、甚至同一供应商不同批次的硅片。
    王晓军利用精密仪器(如椭偏仪、原子力显微镜、XPS表面分析)对每一批硅片的表面特性(粗糙度、亲疏水性、痕量金属污染、表面化学态)进行详细“体检”,并将数据录入不断扩充的“国产硅片特性数据库”。
    周文兵则带着老师傅们,凭借经验和对设备状态的直觉,针对不同的“体检报告”。
    在实验清洗槽和氧化炉上尝试着各种“预钝化”配方和参数组合——氧化剂种类(H2O2、臭氧水)、浓度梯度、温度曲线、时间窗口…如同老中医开方,讲究君臣佐使。
    “这批娃皮子太‘嫩’,得用最温和的‘粥’(低浓度臭氧水),温度不能高,时间要短,意思到了就行!”周文兵指着一批表面能偏低的硅片数据对王晓军说。
    “老周,你看这批,表面金属沾污指标有点临界,你那‘粥’里得加点‘料’(微量螯合剂),先把那点‘脏东西’裹住带走!”王晓军指着分析图谱建议。
    “成!加多少?0.5%试一把!”周文兵从善如流。
    每一次尝试的效果,都被王晓军用精密的表面分析仪器和后续工艺链的监控数据严格评估。
    成功与失败的经验,如同涓涓细流,不断汇入那个日益庞大的“适配矩阵”。渐渐地,一份基于实测数据、可操作性极强的“预氧化钝化工艺参数查询表”初具雏形。
    表格的行是国产硅片的关键特性参数区间(如表面接触角、特定污染物峰值),列是推荐的钝化液配方、浓度、温度、时间组合。复杂的材料适配问题,开始向工程化的“菜谱”转变。
    而技术部的年轻骨干们,则在王院士案例集里一个关于“快速目检晶舟花篮残留水痕判断清洗效果”的土法启发下,结合现代光学传感技术,捣鼓出了一个简易的“硅片表面亲疏水性快速检测笔”。
    利用特制的测试液滴在硅片表面的铺展形态和接触角变化,通过一个便携式摄像头和图像分析软件,能在几十秒内给出定性的“正常”、“需温和钝化”、“需加强清洗”三级判断提示,并关联到参数查询表中的推荐方案。虽然粗糙,却为产线快速决策提供了可能。
    秦浩如同一个高明的指挥家,不断协调着三个小组的进度,组织阶段性的评审会。他将陈哲团队严谨的理论模型、周文兵/王晓军小组庞大的实证数据、以及那个简易快速的检测方法。
    如同拼图般一点点整合起来。每一次会议,都是不同思维方式的激烈碰撞,也是知识体系的艰难融合。
    那份在争论、妥协、验证中逐步成型的《示范线清洗预氧化工艺规范(草案)》,其核心不再仅仅是冰冷的参数,而是一个包含了“标准主干流程”、“国产材料特性偏差判断逻辑”、“预钝化参数自适应模块”和“快速检测验证反馈”的兼容性框架!
    这框架如同一个坚韧的底座,既支撑着国际标准的精密设备,又稳稳地托住了国产材料的现实。
    这份凝聚了无数心血的草案,最终在示范线全新的进口清洗和氧化设备上,进行了首次全流程、多批次的量产验证运行。洁净室内,气氛紧张到了极点。
    崭新的设备平稳运转,机械臂流畅地传送着不同批次的国产硅片。在线监测屏幕上的数据流如同瀑布般刷过。
    周文兵紧盯着屏幕和他熟悉的设备状态指示灯,王晓军则带着技术员守在一排分析仪器旁。陈哲也放下了手册,目光紧紧追随着关键参数的变化。
    一批又一批硅片顺利完成清洗和预氧化,进入后续环节。
    最终的电性测试结果汇总到秦浩手中时,他那一直紧绷的脸上,终于露出了久违的、如释重负的笑容。
    他举起报告,声音洪亮,带着穿透一切的力量:
    “报告结果!连续五批次,不同供应商国产硅片,经新规范流程处理,关键制程参数CPK值全部达标!
    最终器件关键电性参数(栅氧完整性、阈值电压均匀性)全部优于设计规格!‘东海兼容性引擎’——首次验证,成功!”
    短暂的寂静后,巨大的欢呼声在洁净室内外爆发!
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