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“扩散掺杂的片内均匀性波动超过20%!这怎么做高精度模拟芯片?我们定的规格要求是小于5%!”
王晓军抬起头,脸色同样不好看。他推了推鼻梁上那副新配的金丝眼镜(用项目经费买的),镜片后的眼神带着疲惫和一丝不易察觉的烦躁。
“秦工,这能怪我吗?”王晓军的语气带着委屈和不满,“王院士那边提供的扩散炉工艺参数,是针对6寸硅片和进口高纯石英管优化的。
我们临时采购的这台国产二手扩散炉,温场均匀性本来就差,配套的石英舟精度也不够!还有这硅片,”
他拿起一片闪着金属光泽、尺寸明显比之前大了一圈的4寸硅片。
“国产线刚拉出来的,基底杂质分布不均匀是常态!按王院士那套‘标准’工艺走,能做成这样已经烧高香了。
你还想要5%均匀性?除非换进口炉管和舟,用日城的硅片!”
“换?钱呢?”秦浩的声音陡然拔高,指着窗外轰鸣的工地,“示范线的钱一分不能动!那是专款。
林主任特批给净化车间和关键设备的!我们现在是在用项目结余的‘机动经费’给你擦屁股!这点钱,连进口炉管的一个零头都不够!”
“那你说怎么办?”王晓军也火了,猛地站起来,金丝眼镜滑到鼻尖,“用土办法?像以前那样靠老师傅的手感去微调?秦浩,时代变了!我们现在做的是高精度模拟前端芯片!不是粗放的存储器。
0.1微米的线宽,0.01%的电阻匹配精度!靠手感?你摸得出来吗?我们现在是在建示范线。
是要做出符合国际标准的、能拿得出手的产品!不是以前在破仓库里小打小闹了!”
“小打小闹?”秦浩的眼神瞬间冷了下来,像冰锥一样刺向王晓军。
“没有仓库里的‘小打小闹’,没有那些‘土办法’,你王晓军今天能坐在这里,对着进口仪器指手画脚?能戴上这金丝眼镜?能跟王院士的团队搭上话?!”
“你!”王晓军脸涨得通红,嘴唇哆嗦着,却说不出反驳的话。
仓库里那段用命拼杀的日子,是他无法抹去的烙印,也是他内心深处最复杂的情结。
“吵什么吵!”
周文兵粗粝的嗓门炸响。他刚从工地那边过来,工装袖子上还沾着水泥灰,古铜色的脸膛上沟壑更深了。
他大步流星走过来,布满老茧的大手一把抓起工作台上那片被秦浩和王晓军争论的硅片,对着灯光眯起眼仔细瞅了瞅,又用手指肚在边缘摩挲了几下。
“哼!”周文兵冷哼一声,把硅片丢回桌上,发出“啪”的一声轻响,“均匀性差?炉子不行?硅片次?”他浑浊的眼睛扫过秦浩和王晓军,带着一种过来人的洞悉和不满,“根子不在这儿!”
他指着硅片上几个肉眼几乎不可见的微小麻点:“看见没?这是清洗残留!新来的那帮小年轻,就知道按王院士给的流程图,用进口清洗剂泡着,超声波震着,时间掐得准准的,可他们懂个屁。
咱这国产硅片,表面氧化层厚薄不均,杂质形态跟进口的都不一样!光知道照本宣科,洗出来的片子,看着光溜,里头埋着雷呢!”
他又指向旁边王院士团队提供的工艺参数表:“还有这扩散温度曲线!死板!国产炉子升温慢,降温更慢!热惯性大得跟头老牛似的!按这‘标准’曲线走,炉温还没稳呢,时间就到了!能均匀才见鬼了!”
周文兵的话,像一把生锈却锋利的锉刀,瞬间剖开了问题的核心!不是设备不够好,不是硅片不够纯,而是王院士团队带来的那套基于进口设备和材料的“标准”工艺,与东海厂现有的、由国产设备和材料拼凑起来的“混合”生产线。
发生了严重的水土不服!新来的技术员迷信“标准”,对设备特性一知半解;老工人经验丰富,却被排除在“标准”流程之外,有力无处使!
秦浩和王晓军都沉默了。争吵的火气瞬间被一种更深层次的无力感和方向性的迷茫所取代。
示范线的建设如火如荼,代表着未来和希望。但眼前这条维系着生存和订单的“混合”生产线,却如同一个布满暗礁的险滩,随时可能让刚刚起航的东海电子触礁沉没!
“那……周师傅,您说怎么办?”王晓军的语气软了下来,带着一丝求教。
“怎么办?”周文兵瞪了他一眼,“凉拌!新炉子新硅片没到位前,就得靠老办法续命!”
他走到那台国产二手扩散炉前,粗糙的手掌拍了拍冰冷的外壳,像拍着一个老伙计的肩膀,“摸透它的‘脾气’!
升温慢?那就提前预升温!降温惰性大?那就分段缓降温!
硅片杂质分布不均?”他拿起一片硅片,手指在边缘几个区域点了点,“重点区域,在扩散前,用低浓度氢氟酸局部‘啃’一下!
把杂质多的皮‘啃’薄点!这不比你们那‘标准’清洗强?”
“局部处理?这……这不符合工艺流程啊!王院士那边……”王晓军下意识地反对。
“管他什么院士流程!能做出合格片子才是硬道理!”
周文兵不耐烦地打断他,目光转向秦浩,“浩子,你是掌舵的!得拿主意!是死抱着那套‘洋标准’等死,还是让咱这些‘土郎中’再试试‘偏方’?”
秦浩看着周文兵那双充满实战智慧的眼睛,又看看王晓军脸上残留的犹豫和那套崭新的金丝眼镜,再看看工作台上那片承载着订单和信誉的硅片。
巨大的压力让他太阳穴突突直跳。一边是代表着未来方向的“标准”和权威,一边是无数次在绝境中证明有效的“土法”和经验。
向左?向右?每一步都可能是深渊。
“试!”秦浩猛地一咬牙,眼神重新变得锐利而坚定,“周师傅,按您的思路,带人重新调整清洗和扩散工艺!王晓军!”